德國Freiberg儀器的MDPspot(MDPspot臺式單點壽命檢測儀--少子壽命)是一臺低成本的臺式少子壽命測量系統,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。沒有內置自動化??蛇x配手動z軸,用于厚度在156毫米以下的晶錠。MDPspot可配電阻率測試選項,常規僅適用于硅,也可用于沒有高度調整可能性的晶圓片以及晶錠,不過需對這兩個選項之一進行預定義。
弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化等領域被廣泛應用??梢哉f,MDPpro是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。
MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線臺式檢測設備,主要被設計用于生產控制或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈沖激勵下(μ-PCD)。
德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。配置標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態譜儀--少子壽命),非接觸且無損傷,用于溫度依賴的少數載流子壽命測量以及半導體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體材料的基礎研究與開發領域取得廣泛的應用。
臺式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀,用于c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝后質量檢測。
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